小于100Kpa低压高精度电气比例阀

FLT00/PPC00系列为低压高精度电气比例阀，压力区间有0~20Kpa、0~50Kpa、0~100Kpa，精度值为设定点2‰/0.07Kpa。适用于晶圆等精抛光、气密性检测、喷锡焊接等领域。可替代进口品牌“贺尔碧格”。