FVC300 水蒸气控制模块用于精确输送未稀释的超高纯度去离子水蒸气。
本产品采用节能高效设计，可以在较低温度条件下生成超高纯度的水蒸气。
FVC 300 内置 FELTON 高精度MFC，并且集成了先进的数字控制技术与完备的报警诊断功能。

FELTONFVC 300 专为先进的金属蚀刻钝化工艺设计，相比于闪蒸系统，FVC300提供了更高的控制精度与更宽的控制范围以及更低的系统功耗。

基于经验证的热式质量流量控制技术，FVC300在非过热阶段的钝化钛容器中产生蒸气，减少了去离子水的侵蚀作用，可以提高系统的可靠性和洁净度。

FVC300 同时提供模拟和 EtherCAT通信接口