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森可瑞:热交换器
热交换器
HE系列产品是一款超洁净高效流体换热器,即一定流量的洁净气体在通过HE内部管路时,与管路内部表面充分接触,并且因为温度差异发生热量交换转移,从而使该气体温度升高,在流出时能达到预设定温度(目前支持流量最高为10slm及50slm两款,另外最高预设定温度均可达200°C),该装置广泛应用于半导体行业。