流量比例分配器(Felton Flow Divider-l 1000sccm)内置多个MFC，可以按照用户指定的比例分别进行同时调节并分别控制流量，从而将混合气体按比例分配成多路流至工艺室内的多个腔室或区域，以优化工艺均匀性和重复性。