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森可瑞：DCP系列压力式质量流量控制器
森可瑞：DCP系列压力式质量流量控制器
DCP系列压力式质量流量控制器DCP系列压力式质量流量控制器是一款应用于最先进半导体制造工艺的流量测控模块，其基于压差式计量原理实现了更
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森可瑞：液体流量计/控制器
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液体流量计 控制器Felton液体流量计用于小流量测量与控制(1~20g min)，传感器采用半导体制冷片和温度传感器，通过测量液体流过管路时的温度
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SKRG一般镀膜系列
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SKRG系列MFC流量规格10SCCM-1000SCCM1SLM-1000SLM控制阀类型常闭关闭时流量≤2% F S 流量控制范围2-100% F S 流量精度±1 0%S P(
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SKRF人造钻石、光伏行业系列
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SKRF系列MFC流量规格10SCCM-1000SCCM1SLM-1000SLM控制阀类型常闭关闭时流量≤2% F S 流量控制范围2-100% F S 流量精度±1%F S (Q
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SKRT系列高精度半导体专用
SKRT系列高精度半导体专用
SKRT系列MFC流量规格10SCCM-1000SCCM1SLM-50SLM控制阀类型常开、常闭关闭时流量≤1% F S 流量控制范围0 5-100% F S 流量精度±1
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森可瑞：流量比例分配器 FFD1000-Ⅲ
森可瑞：流量比例分配器 FFD1000-Ⅲ
流量比例分配器 FFD1000-Ⅲ流量比例分配器(Felton Flow Divider-l 1000sccm)内置多个MFC，可以按照用户指定的比例分别进行同时调节并分
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森可瑞：汽化器(FMV-2000)
森可瑞：汽化器(FMV-2000)
汽化器(FMV-2000)Felton汽化器包含流量调节阀和蒸发器单元。汽化器与LCP系列液体流量计相结合可进行液体流量的反馈控制，保证汽化后物料的
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森可瑞：水蒸气控制模块 FVC 300
森可瑞：水蒸气控制模块 FVC 300
水蒸气控制模块 FVC 300FVC300 水蒸气控制模块用于精确输送未稀释的超高纯度去离子水蒸气。本产品采用节能高效设计，可以在较低温度条件
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